2.définition des propriétés dimensionnelles, terminologie et méthodes de la plaquette de carbure de silicium
  • 2-1.wafer diamètre

    2018-01-08

    la distance linéaire à travers la surface d'une tranche circulaire qui contient le centre de la tranche et exclut tous les méplats ou autres zones fiduciaires périphériques. Les diamètres standard de plaquettes de silicium sont: 25,4 mm (1 \"), 50,4 mm (2\"), 76,2 mm (3 \"), 100 mm (4\"), 125 mm (5 \"), 150 mm (6\"), 200 mm (8 \") et 300 mm (12 \"). la dimension linéaire à travers la surface d'une plaquette. la mesure est effectuée manuellement avec des étriers numériques certifiés ansi sur chaque plaquette individuelle.

  • 2-2.épaisseur, point central

    2018-01-08

    mince (l'épaisseur dépend du diamètre de la tranche, mais est généralement inférieure à 1 mm), tranche circulaire de matériau semi-conducteur monocristallin découpé dans le lingot de semi-conducteur monocristallin; utilisé dans la fabrication de dispositifs à semi-conducteurs et de circuits intégrés; les diamètres des plaquettes peuvent aller de 5 mm à 300 mm. mesurée avec des outils sans contact certiés ansi au centre de chaque plaquette individuelle.

  • 2-3.wafer longueur plate

    2018-01-08

    dimension linéaire de l'measuredat mesurée avec des étriers numériques certiés ansi sur un échantillon d'une plaquette par lingot.

  • 2-4.wafer l'orientation de la surface

    2018-01-08

    indique l'orientation de la surface d'une plaquette par rapport à un plan cristallographique à l'intérieur de la structure en treillis. dans les plaquettes coupées intentionnellement \"hors orientation\", la direction de coupe est parallèle au primaire  at, à l'opposé du secondaire  at. mesurée avec un goniomètre à rayons X sur un échantillon d'une plaquette par lingot au centre de la plaquette.

  • 2-5.misorientation

    2018-01-08

    dans des plaquettes coupées intentionnellement \"hors orientation\", l'angle entre la projection du vecteur normal aux plaquettes surface sur un plan {0001} et la projection sur ce plan du plus proche \u0026 lt; 11-20 \u0026 gt; direction.

  • 2-6.wafer plat principal

    2018-01-08

    le méplat de la plus grande longueur sur la plaquette, orienté de sorte que la corde soit parallèle à un plan cristallin de faible indice spécifié; appartement majeur. le at primaire est le plan {10-10} avec la face at parallèle au \u0026 lt; 11-20 \u0026 gt; direction.

  • 2-7.première orientation à plat

    2018-01-08

    le at de la plus grande longueur sur la plaquette, orienté de sorte que la corde soit parallèle à un plan cristallin de faible indice spécié. mesuré sur une plaquette par lingot à l'aide de la technique de rétro-détection de la pression avec mesure d'angle manuelle.

  • 2-8.secondaire orientation plate

    2018-01-08

    un ofat de longueur plus courte que l'orientation primaire at, dont la position par rapport à l'orientation primaire at identifie la face de la plaquette.

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