2020-03-17
2020-03-09
la distance linéaire à travers la surface d'une tranche circulaire qui contient le centre de la tranche et exclut tous les méplats ou autres zones fiduciaires périphériques. Les diamètres standard de plaquettes de silicium sont: 25,4 mm (1 \"), 50,4 mm (2\"), 76,2 mm (3 \"), 100 mm (4\"), 125 mm (5 \"), 150 mm (6\"), 200 mm (8 \") et 300 mm (12 \"). la dimension linéaire à travers la surface d'une plaquette. la mesure est effectuée manuellement avec des étriers numériques certifiés ansi sur chaque plaquette individuelle.
mince (l'épaisseur dépend du diamètre de la tranche, mais est généralement inférieure à 1 mm), tranche circulaire de matériau semi-conducteur monocristallin découpé dans le lingot de semi-conducteur monocristallin; utilisé dans la fabrication de dispositifs à semi-conducteurs et de circuits intégrés; les diamètres des plaquettes peuvent aller de 5 mm à 300 mm. mesurée avec des outils sans contact certiés ansi au centre de chaque plaquette individuelle.
dimension linéaire de l'measuredat mesurée avec des étriers numériques certiés ansi sur un échantillon d'une plaquette par lingot.
indique l'orientation de la surface d'une plaquette par rapport à un plan cristallographique à l'intérieur de la structure en treillis. dans les plaquettes coupées intentionnellement \"hors orientation\", la direction de coupe est parallèle au primaire at, à l'opposé du secondaire at. mesurée avec un goniomètre à rayons X sur un échantillon d'une plaquette par lingot au centre de la plaquette.
dans des plaquettes coupées intentionnellement \"hors orientation\", l'angle entre la projection du vecteur normal aux plaquettes surface sur un plan {0001} et la projection sur ce plan du plus proche \u0026 lt; 11-20 \u0026 gt; direction.
le méplat de la plus grande longueur sur la plaquette, orienté de sorte que la corde soit parallèle à un plan cristallin de faible indice spécifié; appartement majeur. le at primaire est le plan {10-10} avec la face at parallèle au \u0026 lt; 11-20 \u0026 gt; direction.
le at de la plus grande longueur sur la plaquette, orienté de sorte que la corde soit parallèle à un plan cristallin de faible indice spécié. mesuré sur une plaquette par lingot à l'aide de la technique de rétro-détection de la pression avec mesure d'angle manuelle.
un ofat de longueur plus courte que l'orientation primaire at, dont la position par rapport à l'orientation primaire at identifie la face de la plaquette.
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