masque photo

masque photo

offres de pam-xiamen photomasques

une masque photo est un revêtement mince de matériau de masquage supporté par un substrat plus épais, et le matériau de masquage absorbe la lumière à des degrés variables et peut être modelé avec un design personnalisé. le motif est utilisé pour moduler la lumière et transférer le motif à travers le processus de photolithographie qui est le processus fondamental utilisé pour construire presque tous les appareils numériques d'aujourd'hui.

Qu'est-ce qu'un photomasque

un photomasque est une plaque opaque avec des trous ou des transparences qui permettent à la lumière de briller à travers un motif défini. ils sont couramment utilisés en photolithographie. lithographique photomasques sont généralement des ébauches de silice fondue transparentes recouvertes d'un motif défini avec un film absorbant le métal chromé. photomasques sont utilisés à des longueurs d'onde de 365 nm, 248 nm et 193 nm. des photomasques ont également été développés pour d'autres formes de radiation telles que 157 nm, 13,5 nm (euv), rayons X, électrons et ions; mais ceux-ci nécessitent des matériaux entièrement nouveaux pour le substrat et le film de motif. un ensemble de photomasques, chacun définissant une couche de motif dans la fabrication de circuits intégrés, est introduit dans un photorécepteur ou un scanner, et sélectionné individuellement pour l'exposition. dans les techniques de double motif, un photomasque correspondrait à un sous-ensemble du motif de couche. en photolithographie pour la production en série de dispositifs à circuits intégrés, le terme le plus correct est généralement photoreticle ou simplement réticule. dans le cas d'un photomasque, il y a une correspondance biunivoque entre le motif de masque et le motif de plaquette. c'était la norme pour les aligneurs de masque 1: 1 qui ont été remplacés par des steppers et des scanners avec optique de réduction. comme utilisé dans les steppers et les scanners, le réticule contient généralement une seule couche de la puce. (Cependant, certaines fabrications de photolithographie utilisent des réticules avec plus d'une couche à motifs sur le même masque). le motif est projeté et rétréci de quatre ou cinq fois sur la surface de la plaquette. pour obtenir une couverture complète de la plaquette, la plaquette est "étagée" de manière répétée de la position à la position sous la colonne optique jusqu'à ce que l'exposition complète soit obtenue. les caractéristiques de 150 nm ou moins requièrent généralement un déphasage pour améliorer la qualité de l'image à des valeurs acceptables. Cela peut être réalisé de plusieurs façons. les deux méthodes les plus courantes consistent à utiliser un film de fond déphaseur atténué sur le masque pour augmenter le contraste des petits pics d'intensité ou graver le quartz exposé de sorte que le bord entre les zones gravées et non attaquées puisse être utilisé pour une image proche de zéro. intensité. Dans le second cas, les bords non désirés devront être coupés avec une autre exposition. la première méthode est un déphasage atténué, et est souvent considérée comme une amélioration faible, nécessitant un éclairage spécial pour la plus grande amélioration, alors que la seconde méthode est connue sous le nom de déphasage à ouverture alternée, et est la technique d'amélioration forte la plus populaire. Comme les caractéristiques des semi-conducteurs à la pointe de la technologie se rétrécissent, les caractéristiques des photomasques qui sont 4 × plus grandes doivent inévitablement diminuer également. ceci pourrait poser des problèmes puisque le film d'absorbeur devra devenir plus mince, et donc moins opaque. une étude récente de l'imec a montré que des absorbeurs plus fins dégradent le contraste de l'image et contribuent ainsi à la rugosité des bords de ligne, en utilisant des outils de photolithographie de pointe. une possibilité consiste à éliminer complètement les absorbeurs et à utiliser des masques «sans chrome», en se fondant uniquement sur le déphasage pour l'imagerie. l'émergence de la lithographie par immersion a un fort impact sur les exigences du photomasque. le masque déphaseur atténué couramment utilisé est plus sensible aux angles d'incidence plus élevés appliqués dans la lithographie "hyper-na", en raison du trajet optique plus long à travers le film à motif.

matériaux de masques -différence entre le quartz et le verre sodocalcique:

les types de verre les plus courants pour la fabrication de masques sont le quartz et la chaux sodée. le quartz est plus cher, mais a l'avantage d'un coefficient de dilatation thermique beaucoup plus faible (il se dilate moins si le masque chauffe) et transparent aux longueurs d'onde ultraviolettes plus profondes (duv), où le verre sodocalcique est opaque. le quartz doit être utilisé lorsque la longueur d'onde utilisée pour exposer le masque est inférieure ou égale à 365 nm (i-line). Un masque de photolithographie est une plaque ou un film opaque avec des zones transparentes qui permettent à la lumière de briller selon un motif défini. ils sont couramment utilisés dans les processus de photolithographie, mais sont également utilisés dans de nombreuses autres applications par un large éventail d'industries et de technologies. il existe différents types de masques pour différentes applications à savoir en fonction de la résolution nécessaire.

Pour plus de détails sur les produits, veuillez nous contacter à l'adresse luna@powerwaywafer.com ou powerwaymaterial@gmail.com.

1x masque maître

1x dimensions du masque principal et matériaux de substrat

spécifications communes pour les masques maîtres 1x (matériau quartz)

spécification commune pour les masques maîtres 1x (matériau de chaux sodée)

masque ut1x

Dimensions du masque ut1x et matériaux du substrat

spécifications communes pour les masques ut1x

masques binaires standard

Dimensions du masque binaire standard et matériaux de substrat

spécifications communes pour les masques binaires standard

masques de taille moyenne

Dimensions et matériaux des masques de taille moyenne

spécifications communes pour les masques de taille moyenne (quartz)

spécifications communes pour les masques de moyenne surface (matériau sodo-calcique)