2020-03-17
2020-03-09
toute matière étrangère à la surface dans les zones localisées qui se révèle sous un éclairage intense (ou diffus) sous forme d'un aspect décoloré, marbré ou trouble résultant de taches, de taches ou de taches d'eau.
une fracture ou un clivage de la plaquette qui s'étend de la surface avant de la plaquette à la surface arrière de la plaquette. les fissures doivent dépasser 0,010 "de longueur sous une illumination à haute intensité afin de distinguer les lignes de fractures des stries cristallines admissibles. les lignes de fracture présentent typiquement des lignes fines et fines de propagation, qui les distinguent des stries matérielles.
toute anomalie de bord (y compris les marques de sortie de la scie à plaquettes) de plus de 1,0 mm dans la profondeur ou la largeur radiale. sous la forme d'un éclairage diffus, les copeaux de bord sont déterminés en tant que matériau manquant par inadvertance du bord de la plaquette.
l'anneau externe de la plaquette est désigné zone de manipulation des plaquettes et est exclu des critères superficiels (nish (tels que rayures, piqûres, brouillard, contamination, cratères, fossettes, rainures, monticules, peau d'orange et marques de scie). cet anneau est de 2 mm pour des substrats de 76,2 mm et de 3 mm pour des substrats de 100,0 mm.
des plaquettes de forme hexagonale sur la surface de la plaquette qui apparaissent de couleur argent à l'oeil nu, sous un éclairage diffus.
aussi appelé \"monticule\" lorsqu'un défaut empêche la détection d'un autre défaut, le défaut non détecté est appelé le défaut masqué. une zone surélevée distincte au-dessus de la surface de la face avant de la plaquette, vue avec un éclairage diffus.
rugosité de surface visuellement détectable lorsqu'elle est observée sous un éclairage diffus.
anomalies de surface distinctes, qui apparaissent comme une dépression dans la surface de la plaquette avec un rapport longueur / largeur inférieur à 5 à 1 et visible sous illumination à haute intensité.
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