2.définition des propriétés dimensionnelles, terminologie et méthodes de la plaquette de carbure de silicium

2-9. (Zone) contamination de la plaquette

2018-01-08

toute matière étrangère à la surface dans les zones localisées qui se révèle sous un éclairage intense (ou diffus) sous forme d'un aspect décoloré, marbré ou trouble résultant de taches, de taches ou de taches d'eau.

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