2.définition des propriétés dimensionnelles, terminologie et méthodes de la plaquette de carbure de silicium

2-16.pits

2018-01-08

anomalies de surface distinctes, qui apparaissent comme une dépression dans la surface de la plaquette avec un rapport longueur / largeur inférieur à 5 à 1 et visible sous illumination à haute intensité.


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