2.définition des propriétés dimensionnelles, terminologie et méthodes de la plaquette de carbure de silicium

2-17.polytypes

2018-01-08

de nombreux matériaux composés présentent un polymorphisme, c'est-à-dire qu'ils peuvent exister dans différentes structures appelées polymorphes. le carbure de silicium (sic) est unique à cet égard puisque plus de 250 polymorphes de carbure de silicium ont été identifiés en 2006, certains d'entre eux ayant une constante de réseau de 301,5 nm, soit environ mille fois les espacements siculaires habituels.


les polymorphes de sic incluent diverses phases amorphes observées dans les films minces et les fibres, ainsi qu'une grande famille de structures cristallines similaires appelées polytypes


des régions de la cristallographie de la plaquette qui sont polycristallines ou d'un matériau polytypique différent du reste de la plaquette, telles que 6h mélangées à un substrat de type 4h. les régions de polytype étrangères présentent fréquemment des changements de couleur ou des lignes de délimitation distinctes, et sont jugées en termes de pourcentage de surface sous éclairage diffus.

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