2.définition des propriétés dimensionnelles, terminologie et méthodes de la plaquette de carbure de silicium

2-12.exclusion

2018-01-08

l'anneau externe de la plaquette est désigné zone de manipulation des plaquettes et est exclu des critères superficiels (nish (tels que rayures, piqûres, brouillard, contamination, cratères, fossettes, rainures, monticules, peau d'orange et marques de scie). cet anneau est de 2 mm pour des substrats de 76,2 mm et de 3 mm pour des substrats de 100,0 mm.

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