2020-03-17
2020-03-09
l'anneau externe de la plaquette est désigné zone de manipulation des plaquettes et est exclu des critères superficiels (nish (tels que rayures, piqûres, brouillard, contamination, cratères, fossettes, rainures, monticules, peau d'orange et marques de scie). cet anneau est de 2 mm pour des substrats de 76,2 mm et de 3 mm pour des substrats de 100,0 mm.