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sic wafer

substrat sic et épitaxie:

sous-produit sic (prêt à l'épi), type n et semi-isolant, polytype 4h et 6h de qualités différentes, densité de micropipettes (mpd): libre, <cm2, < cm2, <cm2, < 100 / cm2

sic épitaxie: épaisseur de la plaquette à la plaquette uniformité: 2%, plaquette à dopage homogénéité: 4%

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