2.définition des propriétés dimensionnelles, terminologie et méthodes de la plaquette de carbure de silicium

2-6.wafer plat principal

2018-01-08

le méplat de la plus grande longueur sur la plaquette, orienté de sorte que la corde soit parallèle à un plan cristallin de faible indice spécifié; appartement majeur.


le at primaire est le plan {10-10} avec la face at parallèle au \u0026 lt; 11-20 \u0026 gt; direction.

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