2.définition des propriétés dimensionnelles, terminologie et méthodes de la plaquette de carbure de silicium

2-2.épaisseur, point central

2018-01-08

mince (l'épaisseur dépend du diamètre de la tranche, mais est généralement inférieure à 1 mm), tranche circulaire de matériau semi-conducteur monocristallin découpé dans le lingot de semi-conducteur monocristallin; utilisé dans la fabrication de dispositifs à semi-conducteurs et de circuits intégrés; les diamètres des plaquettes peuvent aller de 5 mm à 300 mm.


mesurée avec des outils sans contact certiés ansi au centre de chaque plaquette individuelle.

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