2.définition des propriétés dimensionnelles, terminologie et méthodes de la plaquette de carbure de silicium

2-1.wafer diamètre

2018-01-08

la distance linéaire à travers la surface d'une tranche circulaire qui contient le centre de la tranche et exclut tous les méplats ou autres zones fiduciaires périphériques. Les diamètres standard de plaquettes de silicium sont: 25,4 mm (1 \"), 50,4 mm (2\"), 76,2 mm (3 \"), 100 mm (4\"), 125 mm (5 \"), 150 mm (6\"), 200 mm (8 \") et 300 mm (12 \").


la dimension linéaire à travers la surface d'une plaquette. la mesure est effectuée manuellement avec des étriers numériques certifiés ansi sur chaque plaquette individuelle.

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