2.définition des propriétés dimensionnelles, terminologie et méthodes de la plaquette de carbure de silicium

2-4.wafer l'orientation de la surface

2018-01-08

indique l'orientation de la surface d'une plaquette par rapport à un plan cristallographique à l'intérieur de la structure en treillis.

dans les plaquettes coupées intentionnellement \"hors orientation\", la direction de coupe est parallèle au primaire  at, à l'opposé du secondaire  at.


mesurée avec un goniomètre à rayons X sur un échantillon d'une plaquette par lingot au centre de la plaquette.

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