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épitaxie en phase vapeur organométallique et caractérisations d'alliages d'Alinn à réseau quasi-concordant sur des matrices de gan / saphir et des substrats de gan autoportants

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épitaxie en phase vapeur organométallique et caractérisations d'alliages d'Alinn à réseau quasi-concordant sur des matrices de gan / saphir et des substrats de gan autoportants

2017-12-30

les études d'optimisation de l'épitaxie des alliages alinn de type n de haute qualité avec différentes teneurs en indium cultivées sur deux types de substrats par épitaxie en phase vapeur organométallique (movpe) ont été réalisées. l'effet de la pression de croissance et du rapport molaire v / iii sur le taux de croissance, la teneur en indium et la morphologie de surface de ces couches minces d'alinn en croissance ont été examinés. les morphologies de surface des échantillons ont été caractérisées par microscopie électronique à balayage et microscopie à force atomique. en faisant varier les températures de croissance de 860 ° C à 750 ° C, les teneurs en indium dans les alliages alinn ont été augmentées de 0,37% à 21,4% comme déterminé par des mesures de diffraction des rayons X (xrd). les études d'optimisation sur les conditions de croissance pour obtenir des matrices alinn on ganisées appariées en quasi-treillis résidant sur des substrats de saphir et de gan isolés ont été réalisées, et les résultats ont été analysés de manière comparative. plusieurs applications d'alliage alinn pour des diodes thermoélectriques et électroluminescentes sont également discutées.


points forts

► Optimisation de la croissance de l'alliage alinn sur gan et substrat autoportant. ► Une pression de croissance plus faible et un rapport v / iii plus élevé ont permis d'améliorer la qualité des matériaux. ► température de croissance inférieure a conduit à plus haut contenu avec 780 ° c pour atteindre al0.83in0.17n. ► l'utilisation du substrat natif gan réduit la rugosité et les défauts de la surface du matériau. ► le potentiel d'alinn pour les leds et les applications thermoélectriques est présenté.


mots clés

a3. épitaxie en phase vapeur organométallique; b1. des nitrures; b2. matériaux semi-conducteurs iii-v; b3. diodes électroluminescentes


source: sciencedirect


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