3. Définitions de l'épitaxie de carbure de silicium

3-2. rayures

2018-01-08

des rainures ou des coupures en dessous du plan de surface de la plaquette ayant un rapport longueur / largeur supérieur à 5 à 1. Les rayures sont spécifiées par le nombre de rayures discrètes multiplié par la longueur totale en diamètre fractionnaire.

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