3. Définitions de l'épitaxie de carbure de silicium

3-1. grands défauts ponctuels

2018-01-08

défauts qui présentent une forme claire à l'oeil non assisté et sont & gt; 50 microns de diamètre ces caractéristiques comprennent des pointes, des particules adhérentes, des copeaux et des cratères. les gros défauts ponctuels espacés de moins de 3 mm comptent pour un défaut.

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