2.définition des propriétés dimensionnelles, terminologie et méthodes de la plaquette de carbure de silicium

2-27.bow

2018-01-08

arc est la déviation du point central de la surface médiane d'une plaquette libre non bloquée de la surface médiane au plan de référence. où le plan de référence est défini par trois coins du triangle équilatéral. cette définition est basée sur astm f534 désormais obsolète.



il y a un certain nombre de facteurs qui peuvent affecter la forme d'une plaquette que ce soit le carbure de silicium, gaas ou inp. tandis qu'une plaquette est à pleine épaisseur, elle a la résistance à la traction pour résister à toutes les influences extérieures de changer sa forme. cependant, lorsqu'une plaquette est amincie, les influences externes font qu'une plaquette devient concave ou convexe. certaines des influences les plus communes sont le type de film et l'épaisseur sur la surface de la plaquette.



la concavité, la courbure ou la déformation de la ligne centrale de la plaquette de carbure de silicium, indépendamment de toute variation d'épaisseur présente.

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