2.définition des propriétés dimensionnelles, terminologie et méthodes de la plaquette de carbure de silicium

2-28.warp

2018-01-08

la distorsion est la différence entre les distances maximale et minimale de la surface médiane d'une plaquette libre non bloquée à partir du plan de référence défini ci-dessus. cette définition suit astm f657, et astm f1390, laquelle déviation d'un plan d'une tranche ou d'un centre de plaquette contenant à la fois des régions concaves et convexes.

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