2.définition des propriétés dimensionnelles, terminologie et méthodes de la plaquette de carbure de silicium

2-26.ttv

2018-01-08

variation totale de l'épaisseur (ttv): la variation maximale de l'épaisseur de la tranche. la variation d'épaisseur totale est généralement déterminée en mesurant la plaquette à 5 endroits d'un motif en croix (pas trop près du bord de la plaquette) et en calculant la différence d'épaisseur maximale mesurée.

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