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Photodiodes à guide d'ondes élevé et uniforme, fabriquées sur une plaquette InP de 2 pouces à faible courant d'obscurité et haute réactivité

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Photodiodes à guide d'ondes élevé et uniforme, fabriquées sur une plaquette InP de 2 pouces à faible courant d'obscurité et haute réactivité

2018-12-04

Nous avons fabriqué des photodiodes à guide d’onde avec des caractéristiques uniformes élevées sur Plaquette InP de 2 pouces introduire un nouveau procédé. le Gaufrette de 2 pouces La procédure de fabrication a été réalisée avec succès en utilisant un dépôt de SiNx sur le dos de la tranche afin de compenser la déformation de la tranche. Presque toutes les photodiodes de guide d'onde mesurées présentaient un faible courant d'obscurité (moyenne de 419 pA, σ = 49 pA à une tension de polarisation inverse de 10 V) sur toute la tranche de 2 pouces, et une réactivité élevée de 0,987 A / W (σ = 0,011 A / W) dans un réseau consécutif de 60 canaux à la longueur d'onde d'entrée de 1,3 µm. En outre, l'uniformité de la réponse en fréquence a également été confirmée.


source: iopscience


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