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Passivation chimique en surface par voie chimique des tranches de germanium par traitement au quinhydrone-méthanol pour mesures sur la durée de vie des transporteurs minoritaires

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Passivation chimique en surface par voie chimique des tranches de germanium par traitement au quinhydrone-méthanol pour mesures sur la durée de vie des transporteurs minoritaires

2018-11-26

Nous avons appliqué un traitement quinhydrone / méthanol (Q / M) sur les surfaces de germanium (Ge) et avons montré que ce traitement était également efficace pour passiver les surfaces de Ge afin de mesurer la durée de vie des porteurs minoritaires. Une vitesse de recombinaison de surface (S) inférieure à 20 cm / s a ​​été obtenue, ce qui nous permet d’évaluer avec précision la durée de vie globale des porteurs minoritaires, τb, dans Ge wafer . Au meilleur de nos connaissances, il s'agit du premier rapport sur le traitement chimique par voie humide appliqué avec succès aux surfaces de Ge présentant des valeurs faibles de S.


source: iopscience


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