Un petit ensemble de lentilles de Fresnel était en diamant tourné dans un wafer InSb monocristallin en utilisant un outil diamanté à pointe unique à angle de coupe négatif (−25 °) d'un demi-rayon. La matrice usinée était composée de trois lentilles de Fresnel concaves coupées sous différentes séquences d'usinage. Les profils de lentilles de Fresnel ont été conçus pour fonctionner dans le domaine paraxial ayant une distribution de phase quadratique. L'échantillon a été examiné par microscopie électronique à balayage et par un profilomètre optique.

La profilométrie optique a également été utilisée pour mesurer la rugosité de la surface usinée. Des éclats en forme de ruban ductile ont été observés sur la face de coupe de l'outil de coupe. Aucun signe d'usure des arêtes de coupe sur l'outil au diamant. La surface usinée présentait une phase amorphe sondée par spectroscopie Raman micro. Un traitement thermique de recuit réussi a été réalisé pour récupérer la phase cristalline sur la surface usinée. Les résultats ont montré qu’il est possible de réaliser un procédé de "lithographie mécanique" dans semi-conducteurs monocristallins .

source: iopscience

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