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réseaux de wafer-scale de nanodisques et nanorails épitaxiaux ferroélectriques

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réseaux de wafer-scale de nanodisques et nanorails épitaxiaux ferroélectriques

2018-04-24

des paillettes de pb (zr0.2ti0.8) o3 bien ordonnées ont été fabriquées sur toute la surface (10 mm x 10 mm) de l'électrode inférieure srruo3 sur un substrat monocristallin srtio3 en utilisant la lithographie par interférence laser (lil) combiné avec un dépôt laser pulsé. la forme et la taille des nanostructures étaient contrôlées par la quantité de pzt déposée à travers les trous à motifs et la température des étapes de post-cristallisation. La diffraction des rayons X et la microscopie électronique à transmission ont confirmé que des nanostructures de pzt orientées (001) étaient épitaxiées sur la couche d'électrode inférieure srruo3 (001) recouvrant le substrat monocristallin orienté (001). les structures de domaine des nano-îlots pzt ont été caractérisées par une cartographie spatiale réciproque utilisant un rayonnement X synchrotron. les propriétés ferroélectriques de chaque nanostructure pzt ont été caractérisées par microscopie à force de balayage en mode piezoresponse.


source: iopscience


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