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substrats gan ammoniacaux non polaires et semi-polaires

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substrats gan ammoniacaux non polaires et semi-polaires

2018-04-24

Dans cet article, nous passons en revue les développements de la production de tranches non polaires (c'est-à-dire m-plan et a-plan) et semi-polaires (c'est-à-dire (20.1)) par méthode ammonothermale. la méthode de croissance et les résultats de polissage sont décrits. nous avons réussi à produire des plaquettes non-et semi-polaires de 26 mm × 26 mm. ces plaquettes possèdent des propriétés structurelles et optiques remarquables, avec une densité de dislocations de filetage de l'ordre de 104 cm-3. Des études détaillées de couches homoépitaxiales, ainsi que des hétérostructures d'algan sont également présentées, montrant le potentiel des substrats ammonothermaux étudiés dans la fabrication de dispositifs optoélectroniques.


source: iopscience


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