2.définition des propriétés dimensionnelles, terminologie et méthodes de la plaquette de carbure de silicium

2-21. zone utilisable

2018-01-08

une soustraction cumulative de toutes les zones de défaut notées à partir de la zone de qualité de la tranche avant dans la zone d'exclusion de bord. le pourcentage restant indique que la surface de la face avant doit être exempte de tous les défauts notés (ne comprend pas l'exclusion des bords).

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