2.définition des propriétés dimensionnelles, terminologie et méthodes de la plaquette de carbure de silicium

2-20.les défauts cristallographiques linéaires

2018-01-08

les solides cristallins présentent une structure cristalline périodique. les positions des atomes ou des molécules se produisent sur des distances fixes répétées, déterminées par les paramètres de la cellule unitaire. cependant, la disposition de l'atome ou des molécules dans la plupart des matériaux cristallins n'est pas parfaite. les stries régulières sont interrompues par des défauts cristallographiques. Les stries dans le carbure de silicium sont définies comme des défauts cristallographiques linéaires descendant de la surface de la plaquette qui peuvent traverser toute l'épaisseur de la plaquette et suivent généralement des plans cristallographiques sur sa longueur. .

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