silicium-sur-isolant (soi) wafer est l'une des plates-formes les plus attrayantes pour circuit intégré optique avec le potentiel de réaliser l'intégration à ultra grande échelle de haute performance (ulsi) et la miniaturisation de dispositif. Dans ce travail, basé sur des simulations pour obtenir des propriétés optiques appropriées d'une microcavité de silicium poreux (PSM), nous avons fabriqué avec succès une PSM sur plaquette par gravure électrochimique pour la détection d'adn à une longueur d'onde optique de 1555,0 nm. le pic de résonance étroit avec une largeur totale à mi-hauteur d'environ 26,0 nm dans le spectre de réflectance donne un facteur q élevé qui provoque une sensibilité élevée pour la performance de détection. la sensibilité de ce capteur est étudiée par hybridation de l'ADN de 19 paires de bases dans le PSM par modification de surface en utilisant une méthode de chimie réticulaire standard. le décalage vers le rouge des spectres de réflectance montre une bonne relation linéaire avec la concentration d'adn complémentaire, allant de 0,625 à 12,500 μm, et la limite de détection est de 43,9 nm. ce psm optique sur soi est très sensible, réactif, facile à fabriquer et peu coûteux, qui bénéficiera largement de développer un nouveau biocapteur sans étiquette optique sur soi-même et a un grand potentiel pour les biopuces basées sur des dispositifs optiques intégrés.

points forts

► un biocapteur psm sensible sans étiquette sur la tranche de soi a été fabriqué par gravure électrochimique. ► par des simulations et des expériences, nous avons optimisé le biocapteur psm avec une valeur q élevée et une sensibilité élevée. ► ce biocapteur a été utilisé pour la détection d'adn et le décalage vers le rouge montre une bonne relation linéaire avec l'adn. ► ce psm optique sur soi pourrait être un grand potentiel pour les biopuces basées sur des dispositifs optiques intégrés.

mots clés

plaquette de silicium sur isolant; une microcavité de silicium poreuse; biosenseur d'ADN; haute sensibilité

source: sciencedirect

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