cet article propose une nouvelle tridimensionnelle (3d) photolithographie technologie pour un procédé de micropatterning haute résolution sur un substrat fibreux. une brève revue de la technologie de lithographie de la surface non plane est également présentée. La technologie proposée comprend principalement la microfabrication du module d'exposition 3D et le dépôt par pulvérisation de films d...