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génération de microdécharges dans des substrats de diamant

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génération de microdécharges dans des substrats de diamant

2018-07-11

nous rapportons la génération de microdécharges dans des dispositifs composés de microcristallinsdiamant. des décharges ont été générées dans des structures de dispositifs avec des géométries de décharge de cathode à micro-creux. une structure consistait en une plaquette de diamant isolante revêtue de deux couches de diamant dopées au bore. une deuxième structure consistait en une plaquette de diamant isolante revêtue de couches métalliques des deux côtés. dans chaque cas, un seul trou sub-millimétrique a été usiné à travers la structure conducteur-isolateur-conducteur. les décharges ont été générées dans une atmosphère d'hélium. les tensions de claquage étaient d'environ 500 v et les courants de décharge de l'ordre de 0,1 à 2,5 mA étaient maintenus par une tension continue de 300 volts.


source: iopscience

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