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3-11. des particules

3. Définitions de l'épitaxie de carbure de silicium

3-11. des particules

2018-01-08

Les particules ont l'apparence des yeux et, si elles sont présentes, elles sont généralement concentrées sur les bords des plaquettes et non dans la zone spécifiée. si elle est présente, compter une fois par occurrence. Deux particules de moins de 200 microns comptent pour une.

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