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substrats pour le dépôt de film de nitrure iii-v

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substrats pour le dépôt de film de nitrure iii-v

2018-02-27

substrats pour le dépôt de film de nitrure iii-v


cristal

structure

m.p.

densité

désaccord de treillis  gan

dilatation thermique

technologie de croissance &  taille max

substrat standard  taille (mm)

o c

g / cm 3

(dix -6 / k)

sic  (6h par exemple)

hexagonal

~ 2700

3,21

3,5% atori.

10,3

cvd

Ø2 \"x 0,3, Ø3\" x0,3

a = 3,073 Å

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

20x20x0.3,15x15x0.3

c = 15.117 Å

\u0026 emsp;

Ø3 \"

10x10x0.3,5x5x0.3

\u0026 emsp;

subl.

\u0026 emsp;

1 côté epi poli

Al 2 o 3

hexagonal

2030

3,97

14% atori.

7,5

cz

Ø50 x 0,33

a = 4,775 Å

\u0026 emsp;

Ø25 x 0,50

c = 12,99 Å

Ø2 \"

10x10x0.5

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

Epi 1 ou 2 faces polies

Lialo 2

tétragonale

1900 ~

2,62

1,4% atori.

/

cz

10x10x0.5

a = 5,17 Å

Ø20 mm

Epi 1 ou 2 faces polies

c = 6,26 Å

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

ligao 2

orthor.

1600

4,18

0,2% atori.

/

cz

10x10x0.5

a = 5.406 Å

Ø20 mm

Epi 1 ou 2 faces polies

b = 5,012Å

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

c = 6,379 Å

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

mgo

cubique

2852

3,58

3% atori.

12,8

flux

2 \"x2\" x 0.5 mm, Ø2 \"x 0.5 mm

a = 4,216 Å

\u0026 emsp;

1 \"x1\" x 0.5 mm, Ø1 \"x 0.5 mm

\u0026 emsp;

Ø2 \"

10 x10x0,5 mm

Epi 1 ou 2 faces polies

mgal 2 o 4

cubique

2130

3.6

9% atori.

7.45

cz

Ø2 \"x 0.5

a = 8.083 Å

Ø2 \"

10x10x0.5

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

Epi 1 ou 2 faces polies

zno

hexag.

1975

5.605

2,2% atori.

2,9

hydro-thermique

20x20x0.5

a = 3,325 Å

20mm

Epi 1 ou 2 faces polies

c = 5,213 Å

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

gan

hexagonal

\u0026 emsp;

6.15

\u0026 emsp;

5,59

\u0026 emsp;

10x10x0.475mm

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

5x5x0.475mm

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