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gravure de plaquette
la plaquette de gravure présente les caractéristiques de faible rugosité, de bonne brillance et de coût relativement faible, et substitue directement la plaquette polie ou plaquette épitaxiale qui a un coût relativement élevé pour produire les éléments électroniques dans certains domaines, afin de réduire les coûts. il y a les plaquettes de gravure à faible rugosité, à faible réflectivité et à forte réflectivité.tags actifs : gravure de plaquette gravure de plaquette de silicium mems gravure au plasma processus de gravure pecvd
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