plaquette de test plaquette témoin plaquette

sl non

article

scl  Caractéristiques

1

méthode de culture

cz

2

diamètre de la plaquette

150 ± 0.5mm

3

épaisseur de la plaquette

675 ± 25 μm

4

surface de la plaquette  orientation

u0026 lt; 100 u0026 gt; ± 2 °

5

dopant

phosphore

6

dislocation  densité

moins que  5000 / cm2

8

résistivité

4-7Ωcm

9

radial  variation de résistivité (max.)

15%

dix

platitude

u0026 emsp;

10a

·  arc (max.)

60 μm

10b

·  tir (max.)

6 μm

10c

·  cône (max.)

12 μm

10d

·  déformation (max.)

60 μm

11

primaire  appartement

u0026 emsp;

11a

·  longueur

57,5 ± 2,5 mm

11b

·       orientation

{110} ± 2 ° selon  semi standard

11c

secondaire  appartement

selon demi  la norme

12

surface frontale  terminer

miroir poli

13

max. des particules  de taille ≥0.3μm

30

14

·  rayures, brume, éclats de carres, peau d'orange & autres défauts

néant

15

surface arrière

dommage gratuit  gravée

16

emballage  exigence

devrait être sous vide  scellé dans la classe '10'environment dans la double couche packing.wafers devrait être  expédié en orfèvre fluorware deux expéditeurs de plaquette ou équivalent faites à partir de  polypropylène ultra propre

sl non

article

scl  Caractéristiques

1

méthode de culture

cz

2

diamètre de la plaquette

150 ± 0.5mm

3

épaisseur de la plaquette

675 ± 25μm

4

surface de la plaquette  orientation

u0026 lt; 100 u0026 gt; ± 2 °

5

dopant

phosphore

6

dislocation  densité

moins que  5000 / cm2

8

résistivité

4-7Ωcm

9

radial  variation de résistivité (max.)

15%

dix

platitude

u0026 emsp;

10a

·  arc (max.)

60 μm

10b

·  tir (max.)

6 μm

10c

·  cône (max.)

12 μm

10d

·  déformation (max.)

60 μm

11

appartement primaire

u0026 emsp;

11a

·  longueur

57,5 ± 2,5 mm

11b

·       orientation

{110} ± 2 ° selon  semi standard

11c

appartement secondaire

selon demi  la norme

12

surface frontale  terminer

miroir poli

13

max. des particules  de taille ≥0.3μm

30

14

·  rayures, brume, éclats de bord,

néant

épluchure d'orange  & autres défauts

15

surface arrière

miroir poli

16

emballage  exigence

devrait être sous vide  scellé en classe '10'
environnement dans l'emballage de double couche.
les gaufrettes devraient être expédiées en fluor
orion deux expéditeurs de plaquette ou équivalent
Fabriqué en polypropylène ultra propre

diamètre de la plaquette

brillant

surface de la plaquette

épaisseur de la plaquette

résistivité

particule

orientation

4 "

1 côté

100/111

250-500μm

0-100

0.2μm≤qty30

6 "

1 côté

100

500-675μm

0-100

0.2μm≤qty30

8 "

1 côté

100

600-750μm

0-100

0.2μm≤qty30

12 "

2 côtés

100

650-775μm

0-100

0.09μm≤qty100

article#

paramètre

unités

valeur

Remarques

1

méthode de croissance

u0026 emsp;

cz

u0026 emsp;

2

orientation

u0026 emsp;

1-0-0

u0026 emsp;

3

résistivité

Ωм.см

1-50

u0026 emsp;

4

type / dopant

u0026 emsp;

р, n /

u0026 emsp;

bore,  phosphore

5

épaisseur

мкм

1гр. - 620,

u0026 emsp;

2гр. - 650

3гр. - 680

4гр. - 700

5гр. - 720

6

gbir (ttv

мкм

1-3гр. u0026 lt; 30,

u0026 emsp;

4-5гр. u0026 lt; 20

7

glfr (tir

мкм

u0026 lt; 10

u0026 emsp;

8

chaîne

мкм

u0026 lt; 60

u0026 emsp;

9

arc

мкм

u0026 lt; 40

u0026 emsp;

dix

métal  contamination

1 / см2

u0026 lt; 3e10

u0026 emsp;

11

surface frontale

u0026 emsp;

brillant

u0026 emsp;

12

surface frontale  visuel:

u0026 emsp;

u0026 emsp;

u0026 emsp;

brume, rayures,  taches, taches

u0026 emsp;

aucun

épluchure d'orange

u0026 emsp;

aucun

fissures, cratères

u0026 emsp;

aucun

13

lpd de face avant:

u0026 emsp;

u0026 emsp;

nombre de gaufrettes  avec une valeur de paramètre indiquée ne doit pas être inférieure à 80% du lot,

u0026 lt; 0,12мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 100

u0026 lt; 0,16мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 50

u0026 lt; 0,20мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 20

u0026 lt; 0,30мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 10