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micro-miroir gan-drive sur une plateforme gan-on-silicon

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micro-miroir gan-drive sur une plateforme gan-on-silicon

2018-04-02

nous rapportons ici un procédé à double face pour la fabrication d'un micro-miroir gan en peigne sur une plateforme gan-on-silicon. un substrat de silicium est d'abord modelé à partir de la face arrière et enlevé par une gravure ionique réactive profonde, aboutissant à des plaques de gan totalement suspendues. Les microstructures gan comprenant les barres de torsion, les peignes mobiles et la plaque de miroir sont ensuite définies sur une plaque de gan autoportante par la technique d'alignement arrière et générées par une attaque par faisceau d'atomes rapide avec du gaz cl2. Bien que les micro-miroirs à entraînement en peigne soient déviés par la contrainte résiduelle dans les films minces, ils peuvent fonctionner sur un substrat de silicium à haute résistivité sans introduire de couche d'isolation supplémentaire. les angles de rotation optiques sont caractérisés expérimentalement dans les expériences de rotation. ce travail ouvre la possibilité de produire des dispositifs de micro-système électromécanique (mems) optiques sur une plateforme gan-on-silicon.


source: iopscience


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