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technologie de photolithographie tridimensionnelle pour un substrat fibreux utilisant un module d'exposition microfabriqué

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technologie de photolithographie tridimensionnelle pour un substrat fibreux utilisant un module d'exposition microfabriqué

2018-08-22

cet article propose une nouvelle tridimensionnelle (3d) photolithographie technologie pour un procédé de micropatterning haute résolution sur un substrat fibreux. une brève revue de la technologie de lithographie de la surface non plane est également présentée. La technologie proposée comprend principalement la microfabrication du module d'exposition 3D et le dépôt par pulvérisation de films de résine mince sur la fibre. le module d'exposition 3d est préparé avec succès par la gravure humide d'un substrat de quartz et la méthode d'exposition par projection.


Les principaux avantages du module d'exposition 3D sont sa longue durée de vie, son faible coût, son faible espace d'impression et sa haute résolution. Un nouveau système de revêtement par pulvérisation a été développé pour la préparation de films de réserve uniformes et fins sur les fibres, nécessaires au procédé de micropatternage à haute résolution. le processus de dépôt par pulvérisation sur la fibre optique de 125 µm de diamètre a été systématiquement étudié. la viscosité et la volatilité des solutions de réserve ont des effets complexes, car le processus de dépôt par pulvérisation sur la fibre consistait principalement en la région incidente. le film de réserve uniforme et mince de 1 µm d'épaisseur a été réalisé avec succès. L'utilisation de modules d'exposition microfabriqués a permis de former avec succès des motifs fins ayant une largeur de trait inférieure à 6 μm sur la fibre optique. Des expériences préliminaires de photolithographie ont confirmé que la nouvelle technologie de photolithographie 3D est une solution économique intéressante pour l'intégration de micro-transducteurs sur les fibres pour diverses applications. le module d'exposition 3D pourrait également permettre le processus de photolithographie en continu sur les fibres.


source: iopscience


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