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protection de surfaces en carbure de silicium à implantation sélective et à motifs avec couche de recouvrement en graphite pendant le recuit post-implantation

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protection de surfaces en carbure de silicium à implantation sélective et à motifs avec couche de recouvrement en graphite pendant le recuit post-implantation

2018-01-19

une couche de recouvrement en graphite a été évaluée pour protéger la surface de tranches épitaxiées 4h-sic à motif et implantées sélectivement pendant le recuit post-implantation. La résine photosensible az-5214e a été filée et cuite sous vide à des températures allant de 750 à 850 ° C pour former un revêtement continu sur des surfaces sic planaires et mésa-gravées avec des caractéristiques allant jusqu'à 2 um de hauteur. la conversion complète du film de type polymère hydrogéné en couche de graphite nanocristallin a été vérifiée par spectroscopie raman. la couche de recouvrement de graphite est restée intacte et a protégé les surfaces sic planaires et mésa-gravées pendant un recuit ultérieur dans l'argon ambiante à des températures allant jusqu'à 1650 ° C pendant 30 min. il supprime efficacement la formation de pas et la diffusion-diffusion de dopant dans les régions implantées et garantit simultanément que la surface non-implantée de la plaquette épitaxiale 4h-sic reste exempte de contamination. Les diodes barrières schottky formées sur les surfaces recuites non implantées présentaient des caractéristiques presque idéales.


Soource: iopscience


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