points forts

• nouvelle stratégie de croissance de gaas sur si (1 0 0) avec superréseau alas / gaas.

• l'accent mis sur la compréhension de la morphologie cristalline non concluante aux couches initiales.

• observé faible td en hrtem et faible rms en afm.

• observation du quatrième ordre des pics de superréseau dans le balayage ω-2θ dans hrxrd.

• Les études de saedp sur le réseau fcc et l'étude rsm prouvent que l'épilateur gaas est complètement relaxé et non incliné.

une nouvelle stratégie de croissance pour gaas epilayer sur si (1 0 0) a été développée avec un superréseau stratifié alas / gaas pour obtenir une qualité cristalline élevée pour les applications de dispositifs. l'accent a été mis sur la compréhension de la morphologie cristalline non concluante des couches initiales par une caractérisation complète des matériaux. l'influence des conditions de croissance a été étudiée en faisant varier les températures de croissance, les vitesses et les rapports de flux v / iii. Des observations in-situ de la croissance nous ont permis de reconnaître l'impact des paramètres de croissance individuels sur la morphologie cristalline. toutes les quatre étapes de croissance ont été réalisées par épitaxie par jets moléculaires. l'optimisation des paramètres de croissance à chaque étape initie la formation du cristal cubique à faces centrées gaas dès le début. Les caractérisations matérielles incluent afm, hrtem et hrxrd. le dernier, pour la première fois a été témoin de l'intensité des pics satellites de super-réseau dans le quatrième ordre. De faibles valeurs de dislocation de filetage se propageant à la surface supérieure ont été observées à l'heure actuelle avec absence de frontières anti-phase (apb). les résultats pour les dislocations étendues et la rugosité de surface ont été observés de l'ordre de 106 cm-2 et 2 nm, respectivement, ce qui est parmi les meilleures valeurs rapportées jusqu'à la date. réduction significative des dislocations étendues a été observée sous champs de contrainte dans le super-réseau. en particulier, un mélange d'alliages plus faibles en raison de la croissance optimisée d'alas / gaas a abouti à une plate-forme comportementale thermique appropriée comme requis pour les applications de dispositifs. Des épilateurs de gaas à surface unique et à gaine lisse, entièrement détendus, non inclinés, sans apb, ont ouvert la voie à l'intégration sur des plaquettes de dispositifs à haute performance d'arséniure de iii avec des circuits logiques SI.

mots clés

a3. mbe; gaas sur si (1 0 0); alas / gaas superlattice; rsm; motif saed

source: sciencedirect

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