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5-5 Principes de base de l'appareil sic

Technologie 5.silicon de carbure

5-5 Principes de base de l'appareil sic

2018-01-08

Afin de minimiser les coûts de développement et de production de l'électronique sic, il est important que la fabrication du dispositif sic tire le meilleur parti possible de l'infrastructure existante de traitement des plaquettes de silicium et de gaas. comme on le verra dans cette section, la plupart des étapes nécessaires à la fabrication de l'électronique sic à partir de tranches sic peuvent être accomplies en utilisant des procédés électroniques de modification du silicium et des outils de fabrication quelque peu modifiés.


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