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5-5-1 choix de polytype pour les appareils

Technologie 5.silicon de carbure

5-5-1 choix de polytype pour les appareils

2018-01-08

comme discuté dans la section 4, 4h- et 6h-sic sont les formes supérieures de qualité de dispositif semi-conducteur sic disponibles dans le commerce sous forme de plaquettes produites en masse. par conséquent, seules les méthodes de traitement de périphériques 4h et 6h-sic seront explicitement considérées dans le reste de cette section. il convient de noter, cependant, que la plupart des méthodes de traitement décrites dans cette section sont applicables à d'autres polytypes de sic, sauf dans le cas d'une couche 3c-sic résidant toujours sur un substrat de silicium, où toutes les températures de traitement doivent être conservées bien en dessous de la température de fusion du silicium (~ 1400 ° c). Il est généralement admis que la mobilité des porteurs de 4h-sic et les énergies d'ionisation de dopage plus faibles comparées à 6h-sic (tableau 5.1) devraient en faire le polytype de choix pour la plupart des appareils électroniques, à condition que tous les autres Les problèmes liés à ce problème sont à peu près égaux entre les deux polytypes. de plus, l'anisotropie de mobilité inhérente qui dégrade la conduction parallèlement à l'axe c cristallographique en 6h-sic favorise particulièrement 4h-sic pour les configurations de dispositifs de puissance verticale (section 5.6.4). parce que l'énergie d'ionisation des dopants accepteurs de type p est significativement plus profonde que pour les donneurs de type n, une conductivité beaucoup plus élevée peut être obtenue pour les substrats sic de type n que pour les substrats de type p.

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