3. Définitions de l'épitaxie de carbure de silicium

3-8. Inclusions 3c

2018-01-08

les régions où le step-ow était interrompu pendant la croissance de la couche epi. les régions typiques sont généralement triangulaires bien que des formes plus arrondies soient parfois vues. compter une fois par occurrence. deux inclusions de 200 microns comptent pour un.

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