3. Définitions de l'épitaxie de carbure de silicium

3-5. propreté arrière

2018-01-08

vérifié en inspectant pour une couleur uniforme à l'arrière du wafer. Notez qu'il existe une région plus sombre près du centre de certaines plaquettes dopées. La propreté arrière est spécifiée en pourcentage de surface propre.

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