3. Définitions de l'épitaxie de carbure de silicium

3-12. gouttelettes de silicium

2018-01-08

les gouttelettes de silicium peuvent apparaître comme de petits monticules ou des dépressions dans la surface de la plaquette. Normalement absent, mais s'il est présent, il est largement concentré au périmètre de la plaquette. s'il est présent, estimer le% de la zone concernée.

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