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2-34.chie polissage mécanique

2.définition des propriétés dimensionnelles, terminologie et méthodes de la plaquette de carbure de silicium

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2-34.chie polissage mécanique

2018-01-08

polissage / planarisation chimique chimique est courte comme cmp, un processus de lissage des surfaces avec la combinaison de forces chimiques et mécaniques. il peut être considéré comme un hybride de gravure chimique et de polissage abrasif libre.

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