suss microtec, fournisseur mondial de solutions d'équipement et de processus pour l'industrie des semi-conducteurs et les marchés connexes, a lancé la série li - une nouvelle plate-forme d'imagerie laser de surface annoncée le 4 mai 2016.

La technologie très polyvalente du li pour le traitement de surface au laser s'étend de la fragmentation sub-micrométrique des substrats revêtus de résist à la micro-ablation, au traitement de photochimie et à la métrologie.

les motifs, définis par un processus cad, sont transférés en déplaçant avec précision les substrats ciblés sous un faisceau laser focalisé et à balayage. De plus, la configuration de l'imageur laser est hautement personnalisable, pour répondre au mieux aux besoins spécifiques de chaque utilisateur. la technologie prend en charge des tailles de substrat allant de petites pièces jusqu'à 300 mm et atteint une résolution jusqu'à 0,8 μm. l'alignement multicouche est possible via les deux systèmes optiques d'alignement latéral supérieur et inférieur. à côté du laser gan à 405 nm pour les procédés de lithographie à réserve mince standard, une seconde source laser peut également être ajoutée pour traiter en outre divers processus tels que, entre autres, des résists épais tels que su8 et des matériaux sensibles aux infrarouges.

Le principal avantage de l'imageur laser réside dans sa flexibilité, ce qui le rend adapté aux diverses exigences des installations R \u0026 D académiques et industrielles. les principales applications comprennent une grande variété de structures nano et 3d pour la lithographie de plaquettes à haute résolution, les composants micro-optiques, les capteurs, les dispositifs microfluidiques et la fabrication de masques photo.

«Avec la plate-forme d'imagerie laser de surface, nous ajoutons un outil à notre gamme de produits qui étend notre gamme d'équipements d'exposition existants vers des exigences de résolution plus élevées pour les applications de pointe», explique dr. per-ove hansson, chef de la direction de suss microtec ag. \"Avec cet ajout, nous renforçons notre position de leader et offrons l'ensemble le plus complet de produits et de technologies pour le marché de la lithographie r \u0026 d.\"

mots-clés: suss microtec gan laser laser imageurs

source: ledinside

Pour plus d'information, veuillez visiter notre site web: http://www.semiconductorwafers.net ,

envoyez-nous un email à angel.ye@powerwaywafer.com ou powerwaymaterial@gmail.com .