points forts

• les performances des suspensions à base de silice colloïdale et d'oxyde de cérium sur cmp de substrats 6h-sic ont été évaluées.

• il y avait une différence significative dans la performance cmp de 6h-sic entre la silice et les boues à base d'oxyde de cérium.

• pour les boues à base d'oxyde de cérium, on a obtenu une valeur de mrr plus élevée, en particulier dans un environnement acide kmno4 fort.

• la quantité maximale de boues à base de silice et d'oxyde de cérium était de 185 nm / h et de 1089 nm / h, respectivement.

On a étudié la présence de silice colloïdale et de boues à base d'oxyde de cérium, tous deux utilisant le kmno4 comme oxydant, pour le polissage mécano-chimique (cmp) du substrat 6h-sic (0/0 0 1). surface lisse. les résultats indiquent qu'il y avait une différence significative dans la performance cmp de 6h-sic entre les boues à base de silice et d'cérium. pour les boues à base d'oxyde de cérium, un MRr plus élevé a été obtenu, notamment dans l'environnement kmno4 acide fort, et le MRr maximum (1089 nm / h) et une surface plus lisse avec une rugosité moyenne ra de 0,11 nm ont été obtenus avec des boues contenant 2% en poids de colloïdes. En revanche, en raison de l'attraction entre les particules de silice chargées négativement et la surface sic chargée positive en dessous de ph 5, le mrr maximum de suspension à base de silice était seulement de 185 nm / h avec une rugosité de surface de 0,254 nm en utilisant des suspensions contenant 6% en poids de silice colloïdale, 0,05 m kmno4 à pH 6, le mécanisme de polissage a été discuté sur la base des mesures de potentiel zêta des abrasifs et de la spectroscopie photoélectronique par rayons X (xps) des surfaces polies.

Résumé graphique

il y avait une différence significative dans la performance cmp de 6h-sic entre la silice et les boues à base d'oxyde de cérium. pour les boues à base d'oxyde de cérium, un

son mrr a été obtenu, en particulier dans l'environnement kmno4 acide fort.

mots clés

chimie mécanique polissage (cmp); carbure de silicium (sic); silice; ceria

source: sciencedirect

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