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Spectroscopie d'émission optique du dépôt de couche atomique au phosphure de gallium

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Spectroscopie d'émission optique du dépôt de couche atomique au phosphure de gallium

2018-06-27

la capacité de la spectroscopie d'émission optique pour l'étude in situ et le contrôle des dépôts de couches atomiques améliorées par plasma (pe-ald) dephosphure de galliumde la phosphine et du triméthylgallium transportés par l'hydrogène ont été explorés. la composition de gaz changeant pendant le processus de pe-ald a été contrôlée par des mesures in situ de l'intensité d'émission optique pour les lignes de phosphine et d'hydrogène. pour le procédé pe-ald où les étapes de dépôt du phosphore et du gallium sont séparées dans le temps, une influence négative de l'accumulation excessive de phosphore sur les parois de la chambre a été observée. en effet, le phosphore déposé sur les parois lors de l'étape de décomposition du ph3 est gravé par plasma d'hydrogène lors de la prochaine étape de décomposition du triméthylgallium conduisant à un dépôt chimique en phase vapeur classique incontrôlable et indésirable. pour réduire cet effet, il a été proposé d'introduire une étape de gravure plasma hydrogène, qui permet de graver un excès de phosphore avant le début de l'étape de dépôt de gallium et d'obtenir un mode de croissance par dépôt de couche atomique.


source: iopscience


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