maison / nouvelles /

un interrupteur rf mems avec un écart différentiel entre les électrodes pour un fonctionnement haute isolation et basse tension

nouvelles

un interrupteur rf mems avec un écart différentiel entre les électrodes pour un fonctionnement haute isolation et basse tension

2018-08-22

un commutateur de système microélectromécanique RF à double actionnement (MEMS) avec une isolation élevée et un fonctionnement basse tension pour les applications RF et à micro-ondes est présenté. la tension de fonctionnement de la structure de commutateur RF à action verticale à double actionnement suggérée a été réduite sans diminuer l'actionnement écart . théoriquement, la tension de fonctionnement de la structure suggérée est inférieure d'environ 29% à celle d'un interrupteur rf vertical à simple actionnement avec la même méthode de fabrication, la même zone d'électrode et le même intervalle de contact.


L'interrupteur RF MEM proposé a été fabriqué par micro-usinage de surface avec sept photo-masques sur une plaquette de quartz. pour réaliser la planarisation et la structure en escalier, une couche sacrificielle en polyimide a été revêtue par rotation, durcie et gravée en deux étapes et modelée par une étape de gravure sèche qui définit le mécanisme à double actionnement. les résultats mesurés du commutateur rf mems fabriqué démontrent que la perte d'insertion était inférieure à 0,11 dB pour l'état à 20 v, que l'isolement était supérieur à 39,1 db pour l'état désactivé et que la perte de retour était supérieure à 32,1 db pour le 20 v sur l'état de cc à 6 ghz. la tension de tirage minimale de l'interrupteur RFMF fabriqué était de 10 v.


source: iopscience


Pour plus d'informations, s'il vous plaît visitez notre site Web:www.semiconductorwafers.net ,

envoyez nous un email àangel.ye@powerwaywafer.com oupowerwaymaterial@gmail.com


Contactez nous

Si vous souhaitez un devis ou plus d'informations sur nos produits, s'il vous plaît laissez-nous un message, vous répondrons dès que possible.
   
Si vous souhaitez un devis ou plus d'informations sur nos produits, s'il vous plaît laissez-nous un message, vous répondrons dès que possible.