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un agent de gravure pour la délimitation de défauts d'écoulement dans des plaquettes de silicium de type p fortement dopées

nouvelles

un agent de gravure pour la délimitation de défauts d'écoulement dans des plaquettes de silicium de type p fortement dopées

2017-04-22

abstrait


L'agent de gravure secco est classiquement utilisé pour la délinéation des défauts de structure d'écoulement (fpds) dans des tranches de silicium czochralski (cz) faiblement dopées. cependant, les fpds dans des tranches de silicium de type p fortement dopées ne peuvent pas être bien délimités par un agent de gravure secco. Ici, un agent d'attaque basé sur le système cro3hfh2o, avec un rapport de volume optimisé de v (cro3): v (hf) = 2: 3, où la concentration de cro3 est de 0,25-0,35 m, a été développé pour la délimitation de fpds avec des morphologies bien définies pour les tranches de silicium de type p fortement dopées au bore (b).


mots-clés: silicium de type p fortement dopé, défauts d'écoulement, délimitation, gravure préférentielle


source: sciencedirect


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